SilMach startet das SAMI-Projekt mit SUPMICROTECH und der Université Marie et Louis Pasteur und läutet damit eine Revolution bei energiefreien intelligenten Sensoren ein

(WK-intern) – In einem großen Schritt vorwärts für regionale Innovation geben SilMach, SUPMICOTECH und die Université Marie et Louis Pasteur den Start des SAMI-Projekts (Autonomous Sensors for Intelligent Monitoring) bekannt, einer groß angelegten Zusammenarbeit, die die Stadt Besançon an die Spitze der intelligenten Sensortechnologie bringt.

Mit einem Gesamtbudget von 6 Millionen Euro wird das SAMI-Projekt von der Europäischen Union unterstützt, die 4,3 Millionen Euro über den Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) im Rahmen des von der Region Bourgogne-Franche-Comté verwalteten Programms FEDER-FSE+ Bourgogne-Franche-Comté und Massif du Jura 2021-2027 beisteuert.

SAMI: Eine Innovation an der Schnittstelle zwischen Spitzentechnologie und Uhrmacher-Exzellenz.

SAMI basiert auf der ChronoMEMS-Technologie, die von SilMach entwickelt wurde und die Prinzipien der Mikromechanik und fortschrittliche Fertigungstechnologien vereint, um autonome intelligente Sensoren zu schaffen. Diese Sensoren benötigen keine Stromquelle und funktionieren, indem sie mechanische Ereignisse wie Belastungen und Verformungen von Strukturen aufzeichnen.

Die Mikrosensoren von SilMach werden bereits zur Überwachung der Integrität der Infrastruktur eingesetzt und sind Teil von France 2030 im Rahmen des SIRCAPASS-Projekts, das die ChronoMEMS-Technologie von SilMach zur Überwachung der strukturellen Integrität von Brücken nutzt.

Pierre-François Louvigné, CEO von SilMach, sagt: „SAMI ist unser Weg zur Eroberung neuer Industriemärkte. Unsere energiefreien Sensoren sind jetzt kommunikationsfähig und ebnen den Weg für bahnbrechende Anwendungen.“

Drei Experten vereinen sich für bahnbrechende Innovation

SilMach: Der Pionier der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS) bringt seine ChronoMEMS©-Technologie mit, die durch 68 Patente in 17 Ländern abgesichert ist.

SUPMICROTECH und die Université Marie et Louis Pasteur, zwei führende Universitäten der Region, beteiligen sich mit ihrem gemeinsamen Labor FEMTO-ST und zwei Forschungsteams an dem Projekt.

Für Pascal Vairac, Direktor von SUPMICROTECH, „demonstriert SAMI unsere Vision nachhaltiger Innovation, wobei unsere hybriden Mikrosysteme hohe Leistung mit Respekt für die Umwelt vereinen.“

Macha Woronoff, Präsident der Université Marie et Louis Pasteur, fügte hinzu: „Dieses Projekt erweckt die Synergie zwischen akademischer Forschung und Industrie zum Leben und zeigt den französischen Ansatz zur Innovation.“

Eine vielseitige und umweltfreundliche Technologie

SAMI zielt darauf ab, generische, kostengünstige und umweltfreundliche ChronoMEMS©-Sensoren zu entwickeln, die in einer Vielzahl von Sektoren eingesetzt werden können, darunter Transport, Bauwesen, Gesundheitswesen und Energie. Diese mikromechanischen Sensoren arbeiten ohne externe Energiequelle und verfolgen die Verformung der Struktur, an der sie angebracht sind, um mechanische Ereignisse zu erkennen und aufzuzeichnen.

Die Komponenten sind von der Uhrenindustrie inspiriert (z. B. mikrometrische Getriebesysteme) und wenden grundlegende mechanische Prinzipien an (z. B. Sperrräder und Masse-Feder-Systeme), um Ereignisse zu erkennen und zu protokollieren. Sie werden mithilfe siliziumbasierter Reinraum-Fertigungstechnologien miniaturisiert und durch spezielle Prozesse, die von SilMach und FEMTO-ST entwickelt wurden, mit einer menschenlesbaren Schnittstelle hybridisiert.

Als Werkzeug für das Schwellenwertmanagement, das Ereignisse wie Ermüdungsüberwachung oder Schwellenwertüberschreitungserkennung verfolgt, bieten diese Sensoren eine kontinuierliche Betriebsüberwachung rund um die Uhr, ein entscheidendes Merkmal für zahlreiche Branchen.

Ein Schub für die Industrie in der Region

Das SAMI-Projekt zielt darauf ab, ein höheres Maß an technologischer Reife (TRL5 bis TRL7) zu erreichen und so den Weg für die Produktion im großen Maßstab zu ebnen. Bis 2030 werden in der Region jährlich Zehntausende von Sensoren hergestellt, was ihre Rolle als innovatives Innovationszentrum festigt.

Eine solche, weitgehend automatisierte Produktion soll aktiv zur Reindustrialisierung der Region Bourgogne-Franche-Comté beitragen und ihre Position als Kompetenzzentrum für Mikrotechnologie und intelligente Sensoren stärken.

SilMach launches the SAMI project with SUPMICROTECH and the Université Marie et Louis Pasteur, heralding a revolution in energy-free smart sensors

Besançon, February 5, 2025 – In a major step forward for regional innovation, SilMach, SUPMICOTECH and the Université Marie et Louis Pasteur announce the launch the SAMI (Autonomous Sensors for Intelligent Monitoring) project, a large-scale collaboration which positions the city of Besançon at the forefront of smart sensor technology.

With a total budget of €6 million, the SAMI project is backed by the European Union, which is contributing €4.3 million through the European Regional Development Fund (ERDF) as part of the FEDER-FSE+ Bourgogne-Franche-Comté and Massif du Jura 2021-2027 program, managed by the Bourgogne-Franche-Comté Region.

SAMI : An innovation at the intersection of cutting-edge technology, and watchmaking excellence.

SAMI is based on the ChronoMEMS technology, developed by SilMach, which brings together the principles of micromechanics and advanced manufacturing technologies to create autonomous smart sensors. These sensors do not require a power source, and operate by logging mechanical events, such as strain to and deformation of structures.

SilMach’s microsensors are already being used to monitor the integrity of infrastructure, being part of France 2030 through the SIRCAPASS project, which uses SilMach’s ChronoMEMS technology to monitor the structural integrity of bridges.

According to Pierre-François Louvigné, CEO of SilMach, “SAMI is our pathway to conquering new industrial markets. Our energy-free sensors are now capable of communication, paving the way for groundbreaking applications.”

Three experts unite for pathbreaking innovation

SilMach : The pioneer of microelectromechanical systems (MEMS) brings its ChronoMEMS© technology, backed by 68 patents in 17 countries.

SUPMICROTECH and the Université Marie et Louis Pasteur, two leading universities in the region, are participating in the project through their joint laboratory, FEMTO-ST, with two research teams on the project.

For Pascal Vairac, SUPMICROTECH’s director, „SAMI demonstrates our vision of sustainable innovation, with our hybrid microsystems bringing together high-performance with respect for the environment.“

Macha Woronoff, President of the Université Marie et Louis Pasteur added, „This project brings the synergy between academic research and industry to life, showcasing the French approach to innovation.“

A versatile and eco-friendly technology

SAMI aims to develop generic, cost-effective, and eco-friendly ChronoMEMS© sensors, applicable to a wide range of sectors, including transportation, construction, healthcare, and energy. These micromechanical sensors operate without an external energy source, tracking the deformation of the structure they are attached to in order to detect and record mechanical events.

The components are inspired from the watchmaking industry (such as micrometric gear systems) and apply fundamental mechanical principles (e.g., ratchet wheels and mass-spring systems) to detect and log events. They are miniaturized using silicon-based cleanroom manufacturing technologies and hybridized with a human-readable interface through specialized processes developed by SilMach and FEMTO-ST.

A tool for threshold management, tracking events as fatigue monitoring or threshold breach detection, these sensors provide continuous, 24/7 operational monitoring, a crucial feature for numerous industries.

A boost for industry in the region

The SAMI project aims to reach a higher level of technological readiness (TRL5 to TRL7), paving the way for large-scale production. Till 2030, tens of thousands of sensors will be produced annually in the region, consolidating its role as a cutting-edge innovation hub.

Such production, automated in large parts, shall actively contribute to the reindustrialisation of the Bourgogne-Franche-Comté region, reinforcing its position as a centre of excellence in microtechnology and smart sensors.

About SilMach

A true pioneer on the international scene in silicon micromechanics, SilMach (Silicium Machinery) was founded in 2003 in Besançon around a strong conviction: to bring to industrial life the first hybrid MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) micromachines. Through disruptive and highly innovative projects, SilMach pushes the limits of miniaturization, as seen with its emblematic bio-inspired nano drone „Dragonfly.“ SilMach designs, develops, manufactures, and integrates high-performance MEMS microsystems, including micromotors for mobile and connected systems or energy-free micromechanical sensors.

Winner of numerous innovation contests and awards, SilMach’s patented PowerMEMS and ChronoMEMS solutions and technologies have endless application fields for high-stakes industrial markets such as aerospace, defense, transportation, medical, and of course, watchmaking. Twenty years after its creation, SilMach launched TheTimeChanger Watch – the first concept-watch equipped with a silicon heart designed and assembled in Besançon, the French watchmaking capital.

A propos de SUPMICROTECH

SUPMICROTECH (formerly ENSMM) is a French graduate engineering school specializing in mechanics and microtechnology and is a constituent institution of the Marie and Louis Pasteur University. It plays a key role in education, research, and innovation in the field of microtechnology. Together with Marie and Louis Pasteur University, UTBM, and CNRS, SUPMICROTECH oversees the FEMTO-ST research institute, a leading center for research in engineering and computer sciences.

About the Université Marie et Louis Pasteur

L’Université Marie et Louis Pasteur personifies a new era for higher education and research in the Bourgogne-Franche-Comté region.

Resulting from the transformation of the University of Franche-Comté and the COMUE UBFC into an Experimental Public Institution (EPE), it brings together two historic constituent institutions, UTBM and SUPMICROTECH, along with six associated institutions: the campus of Arts et Métiers de Cluny, Besançon’s University Hospital (CHU), the Regional Students Service Center (CROUS BFC), the French Agency for the Collection and Management of Blood, Bourgogne-Franche-Comté (EFS BFC), the ESTA business and engineering school and the Institute of FIne Arts (ISBA).

The university is committed to strengthening the attractiveness and inclusive nature of its programs, consolidating its academic and scientific excellence, developing innovative socio-economic partnerships, all in affirming its regional roots and expanding its influence nationally and internationally.

L’Université Marie et Louis Pasteur vise à renforcer l’attractivité et l’inclusion de ses formations, à consolider son excellence académique et scientifique, à développer des partenariats socio-économiques innovants, tout en affirmant son ancrage territorial et son rayonnement national et international.

With more than 30,000 students and 2,000 faculty researchers, it relies on innovative administration and strengthened synergies to tackle the academic, scientific, and societal challenges of today and tomorrow.

The Université Marie et Louis Pasteur, along with SUPMICROTECH, UTBM, and CNRS, oversees the FEMTO-ST research institute, a major player in engineering and computer science research.

A propos de FEMTO-ST

FEMTO-ST is a public research laboratory under the supervision of the National Center for Scientific Research (CNRS), the Université Marie et Louis Pasteur, and its two constituent institutions, SUPMICROTECH and UTBM. As a large-scale, globally recognized research institute with over 700 members, FEMTO-ST leads internationally significant scientific projects at the cutting edge of knowledge, driving the development of new technologies, software, and scientific discoveries. Its research is structured around five major strategic priorities, including micro-nano technologies, which are at the core of the SAMI project.

A propos de la Région Bourgogne-Franche-Comté

The Bourgogne-Franche-Comté Region serves as the managing authority for European funds. Under the 2021-2027 programming, the region has been allocated a budget of over €808 million to support projects across its territory. To foster regional development initiatives, the region relies on several European funding mechanisms, including the European Regional Development Fund (ERDF – FEDER), the European Social Fund Plus (ESF – FSE+), and the European Agricultural Fund for Rural Development (EAFRD – FEADER). These funds contribute to three programs fully managed by the region: the FEDER-FSE+ Bourgogne-Franche-Comté 2021-2027 program, the Interreg France-Switzerland program, and the regional component of the National Strategic Plan.

www.europe-bfc.eu

PR: Région Bourgogne-Franche-Comté

PB: Frankreich forscht an energiefreien intelligenten Sensoren / ©: Bourgogne-Franche-Comté